廢氣處理設備的安全性包括兩個主要方面：一、廢氣處理設備本身的安全性；二是設計為有機廢氣凈化系統(tǒng)設計的安全性。只要兩者都存在安全問題，那就必然存在危險隱患。
1.廢氣一般為易燃易爆.有毒的、有害的氣體，規(guī)劃中的安全要素是主要的指導原則。因此VOC的濃度安全指標要在1/4以下爆炸下限運行。經(jīng)驗豐富的規(guī)劃者會考慮突發(fā)性濃度的揮發(fā)，如生產(chǎn)者的工藝配方錯配，生產(chǎn)線溫度或壓力參數(shù)異常等應具備應急操作方法。特別是在化學工業(yè)中，這一問題尤為重要。因此，選擇具有豐富經(jīng)驗的廢氣處理設備企業(yè)就顯得尤為重要。
2.廢氣處理工程系統(tǒng)的電氣控制與自控是一個指揮系統(tǒng)，因此，電氣控制原理規(guī)劃要簡潔.牢固.電氣元件要牢固；應有好的工作環(huán)境；電氣設備要嚴格執(zhí)行相關標準中關于防雷、接地的安全方法以及防范各種事件的保護措施。
3.廢氣處理設備的選擇要符合要求，牢固可靠，這是達標排放的基礎。由于廢氣的成分很多，廢氣處理設備的質(zhì)量直接影響安全生產(chǎn)運行和有機廢氣處理效果。在正常運行過程中，廢氣處理裝置的排放應符合國家或地方大氣污染物排放標準。
4.廢氣處理設備處理廢氣的針對性很強。一些尾氣中含有微粒.鹵素廢氣.重金屬等化合物，對廢氣處理設備有干擾，甚至損壞廢氣辦理功能。因此，在進入廢氣處理設備之前，應采用洗刷或預吸附等預處理方法。
5.廢氣處理設備應歸入生產(chǎn)處理程序，并配備專業(yè)辦事員和技術員。尾氣處理設備投入使用前，企業(yè)應培訓其操作者和操作者，使其操作人員掌握廢氣處理設備及其他輔助設備的具體操作，以及緊急情況下的處理方法。企業(yè)應當建立和完善廢氣處理設備有關的各種法規(guī)規(guī)范，以及運行.保護和操作程序，并建立主要廢氣處理設備運行狀態(tài)規(guī)范。